CD MEMS INAOE

Centro de Diseño en MEMS del Instituto Nacional de Astrofísica Óptica y Electrónica.

PATENTES


TITULO. Proceso para Desarrollar Microdepresiones en Silicio Monocristalino Utilizando Múltiples Ciclos de Litografía y Grabado Anisotrópico. 

PATENTE. Proceso para Desarrollar Microdepresiones en Silicio Monocristalino Utilizando Múltiples Ciclos de Litografía y Grabado Anisotrópico. 
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TITULO. Microsensor Capacitivo Hermético para la Medición de Presión en Medios Biológicos y Método de Fabricación.

PATENTE. Microsensor Capacitivo Hermético para la Medición de Presión en Medios Biológicos y Método de Fabricación.
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REGISTRO DE MARCA. LI-MEMS CUSTOM POLYMEMS AT INAOE y Diseño.

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