Microelectrónica y MEMS
Tecnología de circuitos y sensores desarrollada en México
El
propósito es difundir los orígenes, objetivos y alcances de nuestra Tecnología
Nacional de Sistemas MicroElectroMecánicos (MEMS, MicroSistemas), desarrollada por
un grupo de investigadores del INAOE.
Nuestros
laboratorios principales tienen por nombre: Laboratorio de Innovación en MEMS
(LI-MEMS INAOE), Laboratorio de Microelectrónica y Centro de Diseño de MEMS
(CD-MEMS INAOE). En conjunto presentan una plataforma tecnológica única en
nuestro país, con la capacidad de desarrollar nuevos prototipos de circuitos y
sensores principalmente para la Ingeniería Biomédica, ofrecer servicios de
entrenamiento para la industria y cursos o Diplomados con reconocimiento
oficial. Estos laboratorios y servicios que se ofertan, se presentan en este
blog.
Nuestra
moderna tecnología de MEMS tiene sus fundamentos en la Microelectrónica,
tecnología multidisciplinaria que hace posible la fabricación de circuitos
integrados (CI´s, chips), los cuales mediante diversos procesos químicos y
térmicos, le dan forma a estos circuitos definidos sobre la superficie de obleas
de silicio.
Oblea de silicio para la fabricación chips
Los
chips desempeñan diversas funciones electrónicas tales como amplificación,
almacenamiento de información, procesamiento de audio y vídeo, cálculos
matemáticos, etc, de forma tal que hacen posible el funcionamiento de las
computadoras, tablets, hornos de microondas, televisiones inteligentes, etc. En
otro contexto también hacen posible las modernas telecomunicaciones.
En
un aspecto general, los MEMS consisten de una combinación de circuitos
integrados y un sensor o arreglos de sensores, o bien con actuadores y/o algún
otro tipo de elemento transductor (microcomponentes). Este arreglo en forma de
chip tiene el propósito de desarrollar alguna función electrónica programada
(inteligente) al estar en interacción con un medio o variable tal como
temperatura, humedad, campo magnético, señales sonoras o algún líquido, de tal
forma que proporciona información e interacción de gran utilidad práctica.
Se
presentan varias secciones relacionadas con Tecnología de Microelectrónica como
tecnología nodriza de los MEMS, secciones de infraestructura, descripción de
proyectos, textos introductorios de trabajos de tesis y artículos de
investigación, principalmente.
Es
necesario reconocer que la Tecnología de Microelectrónica del INAOE, el
Laboratorio de Innovación en MEMS (LI-MEMS INAOE) y el Centro de Diseño de MEMS
(CD MEMS INAOE); se han desarrollado a lo largo de varias décadas con el
esfuerzo de diversos investigadores del extranjero y mexicanos. Los investigadores
mexicanos son Mariano Aceves, Alfonso Torres, Carlos Zúñiga, Roberto Murphy,
Edmundo Gutiérrez, Mónico Linares, Javier de la Hidalga, Pedro Rosales, Claudia
Reyes, Joel Molina y Mario Moreno.
Adicionalmente
es necesario resaltar el trabajo fundamental de los técnicos de laboratorio, que
laboran en nuestras instalaciones colaborando en el desarrollo de las distintas
técnicas de fabricación y análisis eléctrico de los prototipos. El personal
técnico lo conforman: Mauro Landa, Ignacio Juárez, Pablo Alarcón,
Netzahualcóyotl Carlos, Juan Manuel Alvares, Leticia Tecuapetla, Rosa Técuatl, Adrián
Itzmóyotl, Armando Hernández, Víctor Aca, Teresa Becerra, Ramiro Arroyo, Alfonso Cortes, Israel Medina,
Oscar Pestaña, Gabriel Santiago, Oscar Aponte y Alejandro Benítez.
Finalmente,
es importante mencionar la aportación de los estudiantes de posgrado, que con
cada proyecto de tesis concluido se gradúan y se consolidan como eficaces
colaboradores en el desarrollo de nuestra Tecnología Nacional de
Microelectrónica y MEMS, que reiterando: por su infraestructura y productos
tecnológicos es única en el país.
Wilfrido
Calleja Arriaga
wcalleja@inaoep.mx
Actividades de los Cursos de
Diplomado, Módulo Laboratorio de Microelectrónica y MEMS, en las instalaciones
del INAOE
Chip electromecánico
fabricado con la Tecnología PolyMEMS INAOE®
Posgrados: